半导体显微镜市场规模持续增长2021年高端电子显微镜需求将会回暖

  产业的发展，显微镜在半导体的应用逐步的提升，市场规模持续增长。虽然我国半导体显微镜市场发展与国外仍有一定差距，但近年我国本土

  在集成电路的生产及检测工艺过程中，显微镜扮演着重要的角色，它能够对膜应力、关键尺寸、晶圆表面缺陷等进行检测。

  近年来，我国半导体产业发展迅速，2015-2020年国内集成电路销售规模年复合增长率高达20%，集成电路制造商对显微镜需求逐步的提升，对显微镜的特性及功能提出了更高的要求，显微镜在半导体产业的重要性日益凸显，2020年中国半导体显微镜市场规模约为16亿元。

  伴随着企业对显微镜精密度要求提高，高端电子显微镜（泛指单价1500万元级别或以上冷冻电镜、球差电镜）热度大增。根据公开招标形式的高端电子显微镜中标数统计多个方面数据显示，除了2020年受到疫情影响外，2018年和2019年全年高端电子显微镜中标金额均超过10亿元。

  2018年全年高端电子显微镜中标36台。2019年全年高端电子显微镜中标40台。预计随国内疫情得到一定效果控制，2021年高端电子显微镜需求将会回暖。

  虽然近年来我国积极推动显微镜、半导体行业的发展，显微镜在半导体的应用也逐步的提升，但是与德国、日本等发达国家相比仍有不小差距。

  首先，我国显微镜行业自主研发起步较晚，目前国内领先的显微镜企业未来的发展历程不到百年，德国的蔡司和徕卡显微系统已经有百年历史。其次，我国高端特殊的核心技术缺乏。同时，我国半导体显微镜技术水平与日德仍有很大的差距，高端产品高度依赖进口。

  也正因如此，我国半导体显微镜大多数高端产品由徕卡显微系统、蔡司、尼康、奥林巴斯等国外企业垄断。目前国内以永新光学、麦克奥迪、舜宇光学为代表的领先显微镜制造企业近年才开始逐渐布局高端产品。

  不过，近年来我国领先显微镜制造企业奋力追赶海外领先厂商，慢慢地增加研发，并通过投资建设研发制造基地，慢慢地提高产品生产技术和生产能力。

  2020年6月，麦克奥迪拟定增募资不超过7.4亿元用于两大项目投资，其中一项是中高端光学显微镜扩产及园建设项目，投资额为40036.71万元。该项目将通过生产基地建设，全方面提升材料及金相学用显微镜、AI自动扫描平台、生物医疗用显微镜、体视显微镜等中高端显微镜产品的产能。

  永新光学则在2018年4月拟定募集资金6.02亿元用以四大项目的投资，其中一项是用于光学显微镜扩产项目，投资总额为11618万元;若项目实施完成后，永新光学将新增3万台显微镜产能。

  同时，我国领先半导体显微镜制造厂商也通过兼并收购的方式拓展单位现在有业务、实现公司业务转型，如麦克迪奥电气有限公司100%股权收购麦克奥迪实业集团有限公司，就为了获取麦克奥迪实业集团在全球的显微镜业务。

  在半导体显微镜研发技术创新上，我国近年来也取得不少的成绩。2020年6月，中科院合肥研究院成功研制混合磁体极端条件下原子分辨扫描隧道显微镜（STM）。此工作为利用混合磁体搭配STM开展原子分辨成像研究铺平了道路，对于突破当前超强磁场下只能开展输运等宏观平均效果测量之瓶颈，进入到广阔的物性微观起源探索领域，具有标志性意义。

  晶圆生产附加值极高，因此不允许任何一道工序出现失误，结构随着性能需求提高在不断复杂化，检测在半导体制造中的地位也在持续提高，显微镜是半导体检测中最重要的应用设备之一。

  未来，随着我们国家半导体产业的持续不断的发展，显微镜在半导体产业的应用需求将会逐步扩大，同时国产替代空间大。前瞻预测，2026年我国显微镜应用于半导体产业的市场规模有望突破30亿元。

  在空气中行进的速度很慢，所以必须由真空系统保持电镜的真空度，否则，空气中的分子会阻挠

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